熱式流量計および流量制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大井正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-170842
公開番号（公開出願番号）：特開2008-002864
出願日： 2006年06月21日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

【課題】低流量であっても高い精度で流速測定を行うことのできる熱式流量計およびガス流量の制御を高い精度で行うことができ、適正に制御された流量を安定的に供給することのできる流量制御装置を提供すること。【解決手段】熱式流量計は、一定の内径を有するガス流路内に配設された上流側の補償用温度センサーおよび下流側の測定用発熱型温度センサーの間に、絞り孔が形成された障壁板が設けられており、補償用温度センサーがその温度検知部がガス流と並行方向に延びる姿勢とされていると共に測定用発熱型温度センサーがその温度検知部がガス流と直交方向に延びる姿勢とされている。流量制御装置は、上記熱式流量計を備えてなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一定の内径を有するガス流路内において、ガスの流れ方向上流側の位置に補償用温度センサーが配設されると共に下流側の位置に測定用発熱型温度センサーが配設されてなり、補償用温度センサーによる検知温度と測定用発熱型温度センサーによる検知温度との差を一定の大きさに維持するために測定用発熱型温度センサーに供給される電流の大きさに基づいて流量を測定する熱式流量計であって、ガス流路内における補償用温度センサーと測定用発熱型温度センサーとの間には、絞り孔が形成された障壁板が配設されており、補償用温度センサーがその温度検知部がガス流と並行方向に延びる姿勢とされていると共に測定用発熱型温度センサーがその温度検知部がガス流と直交方向に延びる姿勢とされていることを特徴とする熱式流量計。

IPC (1件)：

G01F 1/684

FI (2件)：

G01F1/68 101A , G01F1/68 101B

Fターム (1件)：

2F035EA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

熱式流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-170954 出願人：日本フローセル製造株式会社, 株式会社オーバル

審査官引用 (5件)

流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-127823 出願人：三菱電機株式会社
特開昭60-236032
発熱抵抗式空気流量測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-200288 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング

全件表示

前のページに戻る