カーボンナノチューブのパターン形成方法、カーボンナノチューブのパターン形成材料、電子放出源及び蛍光発光型表示器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210336
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035362
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】カーボンナノチューブの微細なパターンを形成可能にすること。【解決手段】ガラス製絶縁基板101、カソード導体102及びカーボンナノチューブ103を積層形成した後、粘着テープ403を貼付して剥離する。このとき、絶縁基板101はカソード導体102よりもカーボンナノチューブ103との接着力が小さいため、絶縁基板101に直接被着されたカーボンナノチューブ301は粘着テープ403に被着して剥離され、カソード導体102と同一の所定パターンのエミッタ401が形成される。

請求項（抜粋）：

所定の金属パターンと、前記金属パターンから露出した露出部を有しカーボンナノチューブとの被着力が前記金属よりも弱い材料とを備えた基板を形成する工程と、前記金属及び前記露出部にカーボンナノチューブを被着する工程と、前記露出部に被着したカーボンナノチューブを除去する工程とを備えて成ることを特徴とするカーボンナノチューブのパターン形成方法。

IPC (5件)：

H01J 9/02 , H01J 1/304 , H01J 29/04 , H01J 31/12 , C01B 31/02 101

FI (5件)：

H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , C01B 31/02 101 F , H01J 1/30 F

Fターム (11件)：

4G046CB08 , 4G046CC05 , 5C031DD09 , 5C031DD17 , 5C036EE03 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF08 , 5C036EG02 , 5C036EG12 , 5C036EH11

引用特許：

審査官引用 (5件)

電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-249096 出願人：株式会社東芝
電子放出素子、電子源、及びそれを用いた画像形成装置と、それらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215259 出願人：キヤノン株式会社
蛍光表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-330451 出願人：伊勢電子工業株式会社

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