新規なジアゾメタン化合物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198955
公開番号（公開出願番号）：特開平11-035552
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】化学増幅型レジスト組成物の酸発生剤として有用な新規なジアゾメタン化合物を提供する。【解決手段】一般式【化1】(式中のRはそれぞれ水素原子であるか、又は同一環中の2個のRでジメチルメチレン基を形成する基であり、R1及びR2はそれぞれ低級アルキル基であり、nは0又は1である)とする。

請求項（抜粋）：

一般式【化1】(式中のRはそれぞれ水素原子であるか、又は同一環中の2個のRでジメチルメチレン基を形成する基であり、R1及びR2はそれぞれ低級アルキル基であり、nは0又は1である)で表わされるジアゾメタン化合物。

IPC (2件)：

C07C381/14 , G03F 7/004 503

FI (2件)：

C07C381/14 , G03F 7/004 503 A

引用特許：

出願人引用 (6件)

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審査官引用 (6件)

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