感光性樹脂組成物、およびこれを用いた感光性ドライフィルム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：正林真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-320515
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133378
出願日： 2004年11月04日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】h線に高い感度を有し、レジストパターンの解像性に優れたh線露光用感光性樹脂組成物、および、これを用いた感光性ドライフィルムを提供することを課題とする。【解決手段】脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有するとともに重量平均分子量が1000〜100000であるアルカリ可溶性樹脂(A)と、エチレン性不飽和化合物(B)と、少なくとも必須成分として405nm波長光における吸光係数1以上の光重合開始剤(C1)を含む光重合開始剤(C)とで感光性樹脂組成物を構成する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂(A)と、エチレン性不飽和化合物(B)と、光重合開始剤(C)とを少なくとも含んでなる感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂(A)は、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有するとともに重量平均分子量が1000〜100000であり、前記光重合開始剤(C)は、少なくとも必須成分として405nm波長光における吸光係数1以上の光重合開始剤(C1)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 , C08F 290/12 , C08F 299/00 , G03F 7/004 , G03F 7/031

FI (6件)：

G03F7/027 515 , G03F7/027 502 , C08F290/12 , C08F299/00 , G03F7/004 512 , G03F7/031

Fターム (78件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC65 , 2H025BC74 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025BC92 , 2H025BC97 , 2H025CA03 , 2H025CA28 , 4J127AA03 , 4J127BA01 , 4J127BA08 , 4J127BA081 , 4J127BB032 , 4J127BB033 , 4J127BB041 , 4J127BB081 , 4J127BB112 , 4J127BB113 , 4J127BB221 , 4J127BB222 , 4J127BB223 , 4J127BC021 , 4J127BC022 , 4J127BC023 , 4J127BC031 , 4J127BC151 , 4J127BC152 , 4J127BC153 , 4J127BD061 , 4J127BD222 , 4J127BD223 , 4J127BE11X , 4J127BE111 , 4J127BE29Y , 4J127BE291 , 4J127BE34X , 4J127BE34Y , 4J127BE341 , 4J127BE342 , 4J127BE343 , 4J127BF18Y , 4J127BF183 , 4J127BF24X , 4J127BF242 , 4J127BF27X , 4J127BF272 , 4J127BG04Y , 4J127BG041 , 4J127BG05X , 4J127BG052 , 4J127BG10Y , 4J127BG101 , 4J127BG14X , 4J127BG14Y , 4J127BG142 , 4J127BG143 , 4J127BG16X , 4J127BG161 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG172 , 4J127BG173 , 4J127CB281 , 4J127CB283 , 4J127CB342 , 4J127CC031 , 4J127CC131 , 4J127CC133 , 4J127EA13 , 4J127FA17

引用特許：

出願人引用 (2件)

感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-272158 出願人：ニチゴー・モートン株式会社
青紫色レーザー感光性組成物並びにそれを用いた画像形成材料、画像形成材、及び画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-374432 出願人：三菱化学株式会社

審査官引用 (5件)

感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-272158 出願人：ニチゴー・モートン株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-200271 出願人：太陽インキ製造株式会社
特許第3709565号

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