特許
J-GLOBAL ID：200903023095480115
カンチレバーユニットおよびそのホルダならびにこれらを装備した走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264515
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101810
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 自己検知型カンチレバーを容易かつ正確に装着できるようにしたカンチレバーユニットおよびそのホルダならびにこれらを装備した走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバーユニットホルダ50の一端には、S字型の弾性体電極54(54a〜54d)のU字部が挿貫される4つの溝55が開口されている。ホルダ50の下方には、下面と予定の間隙を保って対向配置されるように片持ち支持され、各溝55と対応する位置が欠けた櫛歯状の電極ガイド53が形成されている。各弾性体電極54は、その一方のU字部がそれぞれ各溝55に挿貫され、他方のU字部から端部に至る部分は、電極ガイド53の櫛歯間から間隙内へ弾性的に突出している。ホルダ50の他端にはプリズム59が固着されている。また基板80の配線パターン82a側に面取り部84を設けた。
請求項（抜粋）：
片持ち梁の自由端に探針が形成されたカンチレバー部および前記カンチレバー部の撓み量を検知する検知部を備えた自己検知型カンチレバーと、前記自己検知型カンチレバーを、なくとも前記カンチレバー部の自由端が端部から突出するように保持する基板と、前記基板の表面に形成され、前記検知部と電気的に接続された複数のコンタクトパターンとを具備したことを特徴とするカンチレバーユニット。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/26
, H01J 37/28
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/26
, H01J 37/28 X
