特許
J-GLOBAL ID：200903009449957310
カンチレバーチップ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-054799
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243648
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】試料の表面形状に影響されること無く所望の測定箇所に対して探針先端を円滑且つ確実に走査させることが可能なカンチレバーチップを提供する。【解決手段】カンチレバーチップ2は、支持面4a及びこの支持面に対向した取付面4bを有する支持部4と、この支持部の支持面に支持されたカンチレバー6と、このカンチレバーの自由端に設けられた探針8とを備えており、試料の表面形状に影響されること無く所望の測定箇所に探針を走査させることができるように、支持部は、その支持面の幅寸法が取付面の幅寸法よりも縮小されている。支持面の幅寸法W1は、SPM装置にカンチレバーチップを取り付けるための取付面の幅寸法W2よりも縮小しており、これら支持面と取付面との間には、カンチレバーの長手軸に沿って形成された第1及び第2の傾斜面10,12が露出している。
請求項（抜粋）：
支持面及びこの支持面に対向した取付面を有する支持部と、この支持部の支持面に支持された片持ち梁と、この片持ち梁の自由端に設けられた探針とを備えており、試料の表面形状に影響されること無く所望の測定箇所に対して前記探針の先端を走査させることができるように、前記支持部は、その支持面の幅寸法が前記取付面の幅寸法よりも縮小されていることを特徴とするカンチレバーチップ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 C
, G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
