特許
J-GLOBAL ID：200903023229215430
ディスプレイ装置に用いる電子放出源の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
平山 一幸
, 篠田 哲也
, 海津 保三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-375014
公開番号（公開出願番号）：特開2006-185636
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】 カーボンナノチューブ先端の極めて小さな曲率半径に基づく電子放出効率を有する、ディスプレイ装置に用いる電子放出源の製造方法を提供する。【解決手段】 基板上の電子放出源を形成する所定の位置に、カーボンナノチューブを生成する触媒微粒子43を担持し、基板上に触媒微粒子43を介して基板に直立して成長するカーボンナノチューブ44とカーボン不純物45とを含む粗生成物46を堆積するディスプレイ装置に用いる電子放出源の製造方法であって、粗生成物46が堆積された基板を、炭素と反応して吸熱酸化反応を生ずる酸化剤中で、カーボン不純物45が選択的に酸化される温度に加熱して、粗生成物46からカーボン不純物45を取り除いて、直立したカーボンナノチューブ44のみを残す。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板上の電子放出源を形成する所定の位置に、カーボンナノチューブを生成する触媒を担持する工程と、上記触媒を介して基板に直立して成長するカーボンナノチューブとカーボン不純物とを含む粗生成物を堆積する工程とを有する、ディスプレイ装置に用いる電子放出源の製造方法であって、
この粗生成物を堆積した基板を、炭素と反応して吸熱酸化反応を生ずる酸化剤中で、カーボン不純物が選択的に酸化される温度に加熱し、上記カーボン不純物を取り除く工程を設けたことを特徴とする、ディスプレイ装置に用いる電子放出源の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J9/02 B
, C01B31/02 101F
4G146AA11
, 4G146AD29
, 4G146BA01
, 4G146BA04
, 4G146BA12
, 4G146BA45
, 4G146BA48
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC33B
, 4G146BC43
, 4G146CA03
, 4G146CA09
, 4G146DA08
, 4G146DA12
, 4G146DA23
, 4G146DA26
, 4G146DA40
, 4G146DA47
, 5C127AA01
, 5C127BA09
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127DD09
, 5C127DD64
, 5C127DD77
, 5C127EE06
