特許
J-GLOBAL ID：200903099383657050
CNT(カーボンナノチューブ)チップ及びその製造方法、並びに電子銃及び走査型プローブ顕微鏡用探針
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
上野 登
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-037376
公開番号（公開出願番号）：特開2004-243490
出願日： 2003年02月14日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】耐久性及び信頼性に優れたCNTチップ、及びこのようなCNTチップを高い作業効率で製造可能なCNTチップの製造方法、並びに、このようなCNTチップを用いた電子銃及びSPM用探針を提供すること。【解決手段】本発明に係るCNTチップ10は、その先端に先鋭部12bを有し、かつ少なくとも先鋭部12bの先端部分がSiCからなる支持体12と、先鋭部12bの最先端部分を構成していたCNT生成部12cを表面分解させることによって先鋭部12bの先端に成長させた少なくとも1本のカーボンナノチューブ14とを備えている。このようなCNTチップ10は、少なくとも先鋭部12bの先端部分がSiCからなり、かつ先鋭部12bの最先端に微小表面12dを有する支持体12を基材30から作製し、先鋭部12bの最先端部分を構成するCNT生成部12cを表面分解させることにより得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
その先端に先鋭部を有し、かつ少なくとも前記先鋭部の先端部分がSiCからなる支持体と、
前記先鋭部の最先端部分を構成していたCNT生成部を表面分解させることによって前記先鋭部の先端に成長させた少なくとも1本のカーボンナノチューブとを備えたCNTチップ。
IPC (3件)：
B82B1/00
, B82B3/00
, G01N13/10
B82B1/00
, B82B3/00
, G01N13/10 A
4G146AA11
, 4G146AC03B
, 4G146BB23
, 4G146BC27
, 4G146BC34B
, 4G146BC37B
, 4G146BC38B
