特許
J-GLOBAL ID：200903083108378296

カーボンナノチューブを用いた電子放出素子の製造方法

発明者：
井上 鉄也

井上 鉄也 について

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大工 博之

大工 博之 について

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石辺 二朗

石辺 二朗 について


出願人/特許権者：
日立造船株式会社

日立造船株式会社 について


代理人 (4件)： 日比 紀彦 ,  岸本 瑛之助 ,  渡邊 彰 ,  清末 康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-116121
公開番号（公開出願番号）：特開2004-327085
出願日： 2003年04月21日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】均一な電子放出、低い電圧での駆動および長寿命化を達成することができる、カーボンナノチューブを用いた電子放出素子を提供する。【解決手段】ガラス基板1 上に化学蒸着装置2 を用いて触媒金属として鉄3 を蒸着させ、鉄粒子からなる薄膜4 を形成した。次いで、薄膜に沿って移動するレーザー装置5 を用いて薄膜4 にレーザー光を照射し、除去部6 を形成した。除去部の形成は、薄膜を多数のドット7 が散在するパターンにパターニングするように、行った。次いで、パターニングされた薄膜上に化学蒸着装置8 を用いてカーボンナノチューブ9 を成長させた。この化学蒸着法の原料ガスはアセチレン(C2H2)ガスで、ヘリウムガスで希釈された状態で供給した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に触媒金属粒子からなる薄膜を形成し、該薄膜にレーザー光を薄膜に沿って移動させながら照射して除去部を形成することにより薄膜を所望のパターンにパターニングし、次いでパターニングされた薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させる、カーボンナノチューブを用いた電子放出素子の製造方法。
IPC (6件)：
H01J9/02 ,  C01B31/02 ,  C03C17/36 ,  H01J1/304 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12
FI (6件)：
H01J9/02 B ,  C01B31/02 101F ,  C03C17/36 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12 C ,  H01J1/30 F
Fターム (55件)：
4G059AA08 ,  4G059AB06 ,  4G059AB11 ,  4G059AC11 ,  4G059EA11 ,  4G059EB01 ,  4G146AA11 ,  4G146AD29 ,  4G146BA12 ,  4G146BB15 ,  4G146BC09 ,  4G146BC23 ,  4G146BC33B ,  4G146BC44 ,  4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030BB01 ,  4K030CA06 ,  4K030DA02 ,  4K030FA10 ,  4K030HA04 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EG12 ,  5C036EH05 ,  5C036EH06 ,  5C127AA01 ,  5C127BA09 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127CC07 ,  5C127CC09 ,  5C127CC10 ,  5C127DD02 ,  5C127DD08 ,  5C127DD13 ,  5C127DD14 ,  5C127DD42 ,  5C127DD45 ,  5C127DD57 ,  5C127DD69 ,  5C127EE04 ,  5C127EE06 ,  5C127EE07 ,  5C135AA09 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135AC03 ,  5C135AC05 ,  5C135AC09 ,  5C135AC17 ,  5C135AC29 ,  5C135HH04 ,  5C135HH06 ,  5C135HH07
引用特許：
審査官引用 (5件)
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