短冊ワークダイシング用フィルム取付フレーム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳沢大作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306864
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】ダイシング用フィルムの歩留まりの向上とそのフィルムの短冊ワーク非接着領域の減少化によって、製品を安価にする。【解決手段】個別の半導体パッケージ19を多数切り出し可能な短冊ワーク17支持用のダイシング用フィルム15を張り渡す穴12を設ける。そして、そのフィルム張り渡し穴12を方形状にする。又、短冊ワークダイシング用フィルム取付フレーム11の輪郭形状を方形状にするとよい。

請求項（抜粋）：

個別の半導体パッケージを多数切り出し可能な短冊ワーク支持用のダイシング用フィルム張り渡し穴を設けた短冊ワークダイシング用フィルム取付フレームにおいて、上記ダイシング用フィルム張り渡し穴を方形状にすることを特徴とする短冊ワークダイシング用フィルム取付フレーム。

引用特許：

審査官引用 (4件)

ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-100818 出願人：株式会社村田製作所
シート貼付方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-143915 出願人：株式会社村田製作所
半導体パッケージ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-165847 出願人：シチズン時計株式会社

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