特許
J-GLOBAL ID：200903023418576451
プリアライナ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-157771
公開番号（公開出願番号）：特開2004-363218
出願日： 2003年06月03日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】ウエハの公差、偏心に対するノッチ検出ミスを無くし、確実にノッチを検出することができ、センサ位置調整が簡単なプリアライナ装置を提供する。【解決手段】ウエハWをテーブル1に把持して回転させるウエハ把持回転機構と、ウエハWの周縁部に投光する投光器5aとウエハWのノッチ位置で光を受光する受光器5bとよりなるノッチ検出センサ5を備えたプリアライナ装置において、受光器5bの光芒径をノッチ開口部の幅寸法より小さくし、前記ウエハ把持回転機構とは別体に配置されてノッチ検出センサ5を固定するセンサ固定台6と、ノッチ検出センサ5をウエハWの径方向に直線移動させるリニアモータ7と、前記ウエハ把持回転機構及びリニアモータ7をコントロールし、ノッチ検出センサ5の信号からノッチの回転位置を計算し、ノッチ8を所定の位置に配置するノッチ位置決め機能を有するプリアライメントコントローラ9とを備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
略円形のウエハを垂直方向の回転軸を持つテーブルに把持して回転させることができるウエハ把持回転機構と、前記ウエハの周縁部に投光する投光器と前記ウエハのノッチ位置で光を受光する受光器とより構成されるノッチ検出センサを備えたプリアライナ装置において、
前記受光器の光芒径がノッチ開口部の幅寸法より小さく設定されており、
前記ウエハ把持回転機構とは別体に配置されると共に、前記ノッチ検出センサを固定するためのセンサ固定台と、
前記ノッチ検出センサをウエハの径方向に直線往復移動を行うための直動移動装置と、
前記ウエハ把持回転機構および前記直動移動装置の動作をコントロールすると共に前記ノッチ検出センサの信号からノッチの回転位置を計算し、ノッチを所定の位置に配置するノッチ位置決め機能を有するプリアライメントコントローラと、を備えたことを特徴とするプリアライナ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5F031CA02
, 5F031JA05
, 5F031JA13
, 5F031JA27
, 5F031JA34
, 5F031JA35
, 5F031KA13
, 5F031KA14
, 5F031LA08
, 5F031PA30
