ワーク検査方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大畑敏朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384553
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185590
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】半導体集積回路装置に生じたクラックを精度よく検出する。【解決手段】所定のパターンが形成されたパターン形成部材14と、平坦に形成された半導体集積回路装置12の検査面12aにパターンを投影する光源11と、パターンが投影された検査面12aの画像を取得する撮像部13と、撮像部13に取得された画像の濃淡分布データを微分したときの不連続部分の有無から半導体集積回路装置12のクラックを検出する検出部17とを有する構成の検査装置とする。

請求項（抜粋）：

平坦に形成されたワークの検査面に所定のパターンを投影し、前記パターンが投影された前記検査面の画像を取得し、少なくとも取得された前記画像の濃淡分布データを用いて前記ワークのクラックを検出することを特徴とするワーク検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G06T 1/00 305 , H01L 21/60 321

FI (3件)：

G01N 21/956 A , G06T 1/00 305 A , H01L 21/60 321 Y

Fターム (12件)：

2G051AA51 , 2G051AB03 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051EA16 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5F044KK01

引用特許：

審査官引用 (6件)

面検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-347181 出願人：三菱自動車工業株式会社
特開平4-139849
特開平4-139849

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