特許
J-GLOBAL ID：200903023567939451

ポジ型感光性組成物

発明者：
河辺 保雅

河辺 保雅 について

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佐藤 健一郎

佐藤 健一郎 について

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青合 利明

青合 利明 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-112196
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305439
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 深紫外線、特にArFエキシマレーザー光に対して、特に残膜率、レジストプロファイルが優れるとともに、現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】 環状脂肪族炭化水素骨格構造を含有する、酸の作用により分解しアルカリ可溶性となる重合体、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、特定の部分構造を有する、分子量が1000以下の複素環状化合物、含窒素塩基性化合物、及びフッソ系及び/またはシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)環状脂肪族炭化水素骨格構造を含有する、酸の作用により分解しアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)下記(式-1)で表される部分構造を有する、分子量が1000以下の複素環状化合物、(D)含窒素塩基性化合物、及び(E)フッソ系及び/またはシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(式中、Z1 は酸素原子もしくは硫黄原子を表し、Z2 は水素原子もしくは水酸基を表す。)
IPC (6件)：
G03F 7/039 601 ,  C08G 61/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027 ,  C08L 45/00
FI (6件)：
G03F 7/039 601 ,  C08G 61/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  C08L 45/00 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
審査官引用 (5件)
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