特許

J-GLOBAL ID：200903023599138990

発光装置の作製方法

発明者： 山形 裕和 ,  山崎 舜平 ,  高山 徹
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-037682
公開番号（公開出願番号）：特開2005-135929
出願日： 2005年02月15日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【課題】従来より劣化しにくい構造の発光素子により上記した課題を解決した寿命の長い発光素子を作製し、高品質な発光装置を作製する方法を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明は、陽極を形成し、前記陽極上に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜をエッチングして前記陽極の一部が露出されるように開口部を形成した後にプラズマ処理をし、前記絶縁膜及び前記露出された陽極上に有機化合物を含む膜を形成し、前記有機化合物を含む膜上に陰極を形成することを特徴とする。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

陽極を形成し、 前記陽極上に絶縁膜を形成し、 前記絶縁膜をエッチングして前記陽極の一部が露出されるように開口部を形成した後にプラズマ処理をし、 前記絶縁膜及び前記露出された陽極上に有機化合物を含む膜を形成し、 前記有機化合物を含む膜上に陰極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。

IPC (5件)：

H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22 ,  H05B33/28

FI (5件)：

H05B33/10 ,  H05B33/12 B ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H05B33/28

Fターム (10件)：

3K007AB11 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB15 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CB01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01

引用特許：

審査官引用 (14件)

• 発光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-142715   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 発光装置及びそれを用いた電気器具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-117529   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 有機EL素子および有機EL素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-105997   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 有機電界発光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-099877   出願人：東レ株式会社
• 特開昭64-057648
  
• 半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-216649   出願人：株式会社東芝
• 特開平3-008117
  
• 特開平4-257826
  
• アクティブマトリクス基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-148014   出願人：シャープ株式会社
• EL表示装置及び電子装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-176521   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-132973   出願人：シャープ株式会社, 株式会社半導体エネルギー研究所
• 有機EL表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-159425   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-245244   出願人：三洋電機株式会社
• スイッチング素子及び有機エレクトロルミネッセンス素子表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-056102   出願人：パイオニア株式会社