特許
J-GLOBAL ID：200903051141973915
液晶表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132973
公開番号（公開出願番号）：特開平8-006053
出願日： 1994年06月15日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 リーク電流やオフ電流が低減され、基板全面にわたって高性能で、かつ安定した特性を持つ状態に、アクティブマトリックス型LCDの画素用TFTおよび周辺駆動回路用TFTが同一基板上に形成されるようにする。【構成】 周辺駆動回路用TFTの結晶性珪素膜は、非晶質珪素膜104にNi等の触媒元素を導入した後、600°C以下の温度で加熱し、基板101表面に対して概略平行な方向に結晶成長させて得られ、結晶欠陥(転位)密度のかなり低い結晶状態を有する珪素膜である。一方、画素用TFTの結晶性珪素膜は非晶質珪素膜を600°C以上の温度で加熱することによって自然核発生によって結晶化させた珪素膜である。
請求項（抜粋）：
液晶層を挟む一対の基板の一方の基板上にマトリックス状に配列された画素電極と、該画素電極に接続された画素用トランジスタとから構成される表示部を有する液晶表示装置において、該表示部の外側に該画素用トランジスタを駆動する周辺駆動回路が配置され、該画素用トランジスタ及び該周辺駆動回路に備わった周辺駆動回路用トランジスタが結晶性珪素膜からなる薄膜トランジスタで形成されると共に、該周辺駆動回路用トランジスタの結晶性珪素膜が触媒元素を含む構成となった液晶表示装置。
引用特許：
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