特許

J-GLOBAL ID：200903023622679987

X線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラム

発明者： 寺本 篤司 ,  村越 貴行
出願人/特許権者： 名古屋電機工業株式会社
代理人 (2件)： 岩上 渉 ,  吉田 大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-228918
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026334
出願日： 2007年09月04日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：

【課題】 検査対象とすべき最適な断層像を特定することが困難であり、結果として高精度の検査を行うことができなかった。【解決手段】 X線によって検査対象を検査するにあたり、X線を基板上の検査対象品に照射して異なる方向から撮影した複数のX線画像を取得し、上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行し、当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の検査位置を決定する。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

X線を基板上の検査対象品に照射して異なる方向から撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得手段と、 上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行する再構成演算手段と、 当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の検査位置を決定する決定手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00

FI (2件)：

G01N23/04 ,  G01B15/00 H

Fターム (47件)：

2F067AA53 ,  2F067AA62 ,  2F067CC14 ,  2F067HH04 ,  2F067HH12 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK06 ,  2F067LL02 ,  2F067NN04 ,  2F067RR14 ,  2F067RR36 ,  2F067RR42 ,  2F067SS02 ,  2F067SS13 ,  2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001CA07 ,  2G001CA10 ,  2G001DA02 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001FA08 ,  2G001GA04 ,  2G001GA05 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001JA06 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 垂直スライスイメージングを利用した検査方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-536933   出願人：ニコレットイメージングシステムズ

審査官引用 (4件)

• X線検査装置及びX線検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-349606   出願人：株式会社デンソー
• 特願2005-056640
  出願番号：特願2005-056640  
• X線検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-041988   出願人：松下電器産業株式会社
• X線CT検査装置及びX線CT検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-031394   出願人：松下電器産業株式会社