特許
J-GLOBAL ID：200903023745309602
キャリアケース内の半導体ウエハの取出機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247376
公開番号（公開出願番号）：特開平11-079402
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】キャリアケースの上端側から半導体ウエアを取り出す作業を行う場合は、静電気などにより密着して半導体ウエハと緩衝シートが分離することができない場合が生じた。【解決手段】緩衝シートPを間に介在させ積層して収納する半導体ウエハWのキャリアケース70を昇降自在に載置する載置台2と、この載置台に隣接して設けたキャリアケース内の半導体ウエハまたは緩衝シートを取り出す移載アーム4と、前記半導体ウエハまたは緩衝シートの近傍に配置される吹付機構6(8)とを備え、前記移載アームがキャリアケース内の半導体ウエハまたは緩衝シートを吸着する際に、前記吹付機構から気体を吹き付けるキャリアケース内の半導体ウエハの取出機構1として構成した。
請求項（抜粋）：
緩衝シートを間に介在させ積層して収納する半導体ウエハのキャリアケースを昇降自在に載置する載置台と、この載置台に隣接して設けたキャリアケース内の半導体ウエハまたは緩衝シートを取り出す移載アームと、前記半導体ウエハまたは緩衝シートの近傍に配置される吹付機構とを備え、前記移載アームがキャリアケース内の半導体ウエハまたは緩衝シートを吸着する際に、前記吹付機構から気体を吹き付けることを特徴とするキャリアケース内の半導体ウエハの取出機構。
IPC (3件)：
B65G 59/04
, B65H 3/08 310
, B65H 3/48 310
B65G 59/04
, B65H 3/08 310 A
, B65H 3/48 310 B
