特許
J-GLOBAL ID：200903023820145149
カラーフィルターの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-098068
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281323
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 現像後の感光性樹脂残渣の残留を抑制し、且つ制御して、カラーフィルターの製造歩留りを向上する。【解決手段】 透明支持体上にブラックマトリックスを形成した後、該支持体上に、赤、緑、青の顔料を分散させた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィーによりカラー画素を形成させカラーフィルターを製造する方法において、感光性樹脂の塗布前に被塗布面をオゾン処理した後、非イオン系界面活性剤を含有してなる洗浄液で処理する。
請求項（抜粋）：
透明支持体上にブラックマトリックスを形成した後、該支持体上に、赤、緑、青の顔料を分散させた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィーによりカラー画素を形成させカラーフィルターを製造する方法において、感光性樹脂の塗布前に被塗布面をオゾン処理した後、非イオン系界面活性剤を含有してなる洗浄液で処理することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G03F 1/08
, G03F 1/14
G02B 5/20 101
, G03F 1/08 K
, G03F 1/08 X
, G03F 1/14 B
