特許
J-GLOBAL ID:200903023931226270
ペーストの塗布量測定装置及びペースト塗布装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩川 修治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-379475
公開番号(公開出願番号):特開2007-178367
出願日: 2005年12月28日
公開日(公表日): 2007年07月12日
要約:
【課題】 基板上に塗布されたペーストの塗布量を正確に測定し、不良品の発生を防止することができるペーストの塗布量測定装置及びこれを用いたペースト塗布装置を提供すること。【解決手段】 基板16上に塗布されたペースト17の塗布高さを距離測定器により測定し、ペースト17の塗布量を算出するペースト17の塗布量測定装置40において、基板16上に塗布されたペースト17の塗布位置を検出する位置検出装置64と、位置検出装置64によって検出されたペースト17の塗布位置に基づいて、距離測定器による測定位置Cmを決定する制御装置65とを備えたもの。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基板上に塗布されたペーストの塗布高さを距離測定器により測定し、該ペーストの塗布量を算出するペーストの塗布量測定装置において、
前記基板上に塗布されたペーストの塗布位置を検出する位置検出装置と、
該位置検出装置によって検出されたペーストの塗布位置に基づいて、前記距離測定器による測定位置を決定する制御装置と、を備えたことを特徴とするペーストの塗布量測定装置。
IPC (4件):
G01B 11/02
, G01B 11/00
, B05C 5/00
, B05C 11/00
FI (4件):
G01B11/02 Z
, G01B11/00 H
, B05C5/00 101
, B05C11/00
Fターム (35件):
2F065AA06
, 2F065AA12
, 2F065AA14
, 2F065AA17
, 2F065AA24
, 2F065AA26
, 2F065AA52
, 2F065AA58
, 2F065AA59
, 2F065BB27
, 2F065CC25
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065GG04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065MM07
, 2F065PP03
, 2F065PP12
, 2F065PP13
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065QQ42
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA04
, 4F041BA51
, 4F042AA06
, 4F042BA02
, 4F042BA08
, 4F042DH09
引用特許:
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