特許
J-GLOBAL ID:200903023931226270

ペーストの塗布量測定装置及びペースト塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 塩川 修治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-379475
公開番号(公開出願番号):特開2007-178367
出願日: 2005年12月28日
公開日(公表日): 2007年07月12日
要約:
【課題】 基板上に塗布されたペーストの塗布量を正確に測定し、不良品の発生を防止することができるペーストの塗布量測定装置及びこれを用いたペースト塗布装置を提供すること。【解決手段】 基板16上に塗布されたペースト17の塗布高さを距離測定器により測定し、ペースト17の塗布量を算出するペースト17の塗布量測定装置40において、基板16上に塗布されたペースト17の塗布位置を検出する位置検出装置64と、位置検出装置64によって検出されたペースト17の塗布位置に基づいて、距離測定器による測定位置Cmを決定する制御装置65とを備えたもの。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基板上に塗布されたペーストの塗布高さを距離測定器により測定し、該ペーストの塗布量を算出するペーストの塗布量測定装置において、 前記基板上に塗布されたペーストの塗布位置を検出する位置検出装置と、 該位置検出装置によって検出されたペーストの塗布位置に基づいて、前記距離測定器による測定位置を決定する制御装置と、を備えたことを特徴とするペーストの塗布量測定装置。
IPC (4件):
G01B 11/02 ,  G01B 11/00 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/00
FI (4件):
G01B11/02 Z ,  G01B11/00 H ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/00
Fターム (35件):
2F065AA06 ,  2F065AA12 ,  2F065AA14 ,  2F065AA17 ,  2F065AA24 ,  2F065AA26 ,  2F065AA52 ,  2F065AA58 ,  2F065AA59 ,  2F065BB27 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA04 ,  4F041BA51 ,  4F042AA06 ,  4F042BA02 ,  4F042BA08 ,  4F042DH09
引用特許:
審査官引用 (5件)
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