特許
J-GLOBAL ID：200903024154547276
静電型アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087163
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277742
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】 静電型アクチュエータにおける対向間隔となる凹部をSi振動板側に形成する場合において、前記凹部コーナー部に応力が集中して前記基板が破損するのを防止する。【解決手段】 振動板12と、該振動板に対向して設けられた個別電極14とを有し、前記振動板に設けられた共通電極11と前記個別電極間に駆動電圧を印加することにより、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板12をSi単結晶で構成しかつ、その前記個別電極14に対向した側に、Siの選択酸化によりコーナー部が滑らかな形状の凹部13を形成する。
請求項（抜粋）：
振動板と、該振動板に対向して設けられた個別電極とを有し、前記振動板に設けられた共通電極と前記個別電極間に駆動電圧を印加することにより、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板はSi単結晶から成り、かつその前記個別電極に対向した側に、コーナー部が滑らかな凹部が形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 21/306 ZAA
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 21/306 ZAA B
