特許

J-GLOBAL ID：200903024171054178

赤外線吸収体および熱型赤外線検出器

発明者： 尾島 史一 ,  佐藤 順 ,  北浦 隆介
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-016733
公開番号（公開出願番号）：特開2007-198852
出願日： 2006年01月25日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】基板のウェットエッチング加工が容易であり、広い波長域にわたって効率良く赤外線を吸収できる赤外線吸収体および熱型赤外線検出器を提供する。【解決手段】赤外線吸収膜2は、TiNを含む第1の層21と、Si系化合物を含む第2の層22とを備え、第2の層22側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換する。TiNは、8μmより短い波長域の赤外線に対する吸収率が高い一方、8μmより長い波長域の赤外線に対しては反射率が高い。従って、長波長域の赤外線に対する吸収率が良いSi系化合物層をTiN層上に積層すれば、TiN層において吸収率が低い波長域の赤外線をSi系化合物層において好適に吸収できると同時に、Si系化合物層を透過しようとする赤外線をTiN層の界面で反射してSi系化合物層へ戻すことができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

TiNを含む第1の層と、 Si系化合物を含み前記第1の層上に設けられた第2の層と を備え、 前記第2の層側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換することを特徴とする、赤外線吸収体。

IPC (5件)：

G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  H01L 35/32 ,  B32B 9/00 ,  B32B 7/02

FI (5件)：

G01J1/02 C ,  G01J1/04 A ,  H01L35/32 A ,  B32B9/00 A ,  B32B7/02 103

Fターム (13件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BB24 ,  4F100AA12A ,  4F100AA16B ,  4F100AA32B ,  4F100AB11 ,  4F100AD05B ,  4F100BA02 ,  4F100JD10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第2523895号公報
  
• 特許第3608427号公報
  

審査官引用 (4件)

• 赤外線センサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-132559   出願人：三菱電機株式会社
• 赤外線吸収膜と赤外線検知センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-244299   出願人：株式会社豊田中央研究所
• 赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-146655   出願人：株式会社村田製作所
• 熱型赤外線検出器およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-022862   出願人：日本電気株式会社