加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西川惠清 , 森厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-341143
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153519
出願日： 2004年11月25日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】加速度センサチップが加速度以外の要因による応力の影響を受けにくく且つ加速度センサチップの小型化が可能な加速度センサを提供する。【解決手段】加速度センサチップ1と、加速度センサチップ1の一表面に対向配置され重り部12の過度な変位を規制する平板状のストッパ2とを備えている。ストッパ2は、加速度センサチップ1のフレーム部11との対向面に、加速度センサチップ1の重り部12のコア部12aとストッパ2との間の規定のギャップ長に基づいて突出寸法を設定した複数の凸部21であってそれぞれフレーム部11に接着剤により固着される複数の凸部21が突設され、各凸部21それぞれに、上記接着剤を溜める接着剤溜め用凹部22が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

枠状のフレーム部の開口窓内に配置される重り部が一表面側において可撓性を有する撓み部を介してフレーム部に揺動自在に支持され撓み部にゲージ抵抗が設けられた加速度センサチップと、加速度センサチップの前記一表面に対向配置され重り部の過度な変位を規制する平板状のストッパとを備え、ストッパは、加速度センサチップのフレーム部との対向面に、加速度センサチップの重り部とストッパとの間の規定のギャップ長に基づいて突出寸法を設定した複数の凸部であってそれぞれフレーム部に接着剤により固着される複数の凸部が突設され、各凸部それぞれに、前記接着剤を溜める接着剤溜め用凹部が形成されてなることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/08 , G01P 15/12

FI (2件)：

G01P15/08 P , G01P15/12 D

引用特許：

出願人引用 (1件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-018715 出願人：日立金属株式会社

審査官引用 (9件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-275232 出願人：日本航空電子工業株式会社
特開平4-278462
特開平4-278462

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