特許
J-GLOBAL ID：200903024422116151
ウェーハ剥離装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285876
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121405
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 簡易構造にてロットの切り換わりを自動的に検知し、同一カセットへの異ロット混入を確実に防止する。【解決手段】 軟化槽11内におけるウェーハ列同士の隙間の位置に対応させて、隙間指示部材18を当該軟化槽11の槽壁から突出するように、予め設けておく。そして、第2の駆動手段17の作動により、指示部材検知部19を前記槽壁に沿ってウェーハ吸着盤12とともに移動させる。すると、検指示部材検知部19が隙間指示部材18の下方を通過した時に、ウェーハ列W1,W2同士の隙間、すなわち、ロットの切り換わりが検知される。
請求項（抜粋）：
固定部材上にロット毎に隙間をあけて接着された複数のウェーハ列からウェーハを剥離する装置であって、前記固定部材と各ウェーハ列との接着部分を浸漬することにより接着強度を弱める軟化槽と、該軟化槽内に配された前記ウェーハ列の最端部に位置するウェーハを吸着するウェーハ吸着盤と、該ウェーハ吸着盤を駆動して、吸着したウェーハを前記固定部材から剥離する第1の駆動手段と、前記各ウェーハ列の配列方向に沿って、前記ウェーハ吸着盤を駆動する第2の駆動手段と、前記隙間を検出するとともに、剥離後別処理の行われたウェーハを前記ロット毎に異なるカセットに収納するカセット収納手段に、ロットの切り換わりを知らせる隙間検出手段とを備えることを特徴とするウェーハ剥離装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 311
, B65G 49/07
H01L 21/304 311 A
, B65G 49/07 G
