特許

J-GLOBAL ID：200903024527857874

プローブ及びその製造方法

発明者： 八井 崇 ,  興梠 元伸 ,  大津 元一 ,  吉本 護
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-084161
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279461
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 紫外光から赤外光までを利用して、微小な試料を高効率で試料を観察する。【解決手段】 探針2をダイヤモンドによって作製する。ダイヤモンドは、紫外光から赤外光までの光の屈折率が約2.5である。すなわち、屈折率が高いダイヤモンドによって作製された探針2は、紫外光から赤外光までの光を導波したときに光の染み出しが少ないものとなる。したがって、探針2は、試料に対して効率良く光を照射することが可能となり、且つ伝搬光を効率良く集光することが可能となる。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドによって作製された錐状の探針と、上記探針を、上記探針の底面及び上記探針の頂点間を光が透過することが可能となる状態で支持する支持基板とを備えることを特徴とするプローブ。

IPC (4件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/12 ,  G12B 21/06 ,  G01N 13/16

FI (4件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/12 D ,  G01N 13/16 C ,  G12B 1/00 601 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光学的な開口の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-126415   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• ダイヤモンドパターンの形成方法、走査型プローブ装置用プローブおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-068583   出願人：坂本幸弘, 高谷松文, 株式会社ニコン