荷電粒子ビーム露光方法及び装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142037
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335547
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】本発明は荷電粒子ビーム露光方法及び装置に係り、偏向器に偏向データを供給する増幅器の帯域を下げずに増幅器出力のリンギングを抑制することで、増幅器の整定時間を短縮し、ショットの待ち時間を短縮可能することを目的とする。【構成】ビーム発生源からの荷電粒子ビームを透過孔パターンが形成されたパターン板に照射し、前記パターン板を透過した荷電粒子ビームを試料上に照射してパターンを形成する荷電粒子ビーム露光方法において、偏向データに基づき、前記ビーム発生源より下流側、且つ、前記試料の上流側で荷電粒子ビームを誘導性負荷を有する偏向器により偏向する第1のステップと、前記偏向データを増幅器を介して前記偏向器に供給する際に、前記増幅器の出力に生じるリンギングの少なくとも最初のうねりを打ち消すための、最初のうねりとは逆極性のパルス状の信号を前記増幅器の入力に加算する第2のステップとを含むように構成する。

請求項（抜粋）：

ビーム発生源からの荷電粒子ビームを透過孔パターンが形成されたパターン板に照射し、該パターン板を透過した荷電粒子ビームを試料上に照射してパターンを形成する荷電粒子ビーム露光方法において、偏向データに基づき、該ビーム発生源より下流側、且つ、該試料の上流側で荷電粒子ビームを誘導性負荷を有する偏向器により偏向する第1のステップと、該偏向データを増幅器を介して該偏向器に供給する際に、該増幅器の出力に生じるリンギングの少なくとも最初のうねりを打ち消すための、最初のうねりとは逆極性のパルス状の信号を該増幅器の入力に加算する第2のステップとを含む、荷電粒子ビーム露光方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , H01J 37/147 , H01J 37/305

FI (5件)：

H01L 21/30 541 B , G03F 7/20 521 , H01J 37/147 C , H01J 37/305 B , H01L 21/30 541 J

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭61-059727
電子ビーム露光方法および電子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-305069 出願人：富士通株式会社
特開平2-246316

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審査官引用 (4件)

特開昭61-059727
電子ビーム露光方法および電子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-305069 出願人：富士通株式会社
特開平2-246316

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