特許
J-GLOBAL ID:200903024774143337
太陽電池素子の形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-342880
公開番号(公開出願番号):特開2004-179336
出願日: 2002年11月26日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】電極の剥離の発生を防止するとともに、半導体基板の割れを防止できる太陽電池素子の形成方法を提供する。【解決手段】一導電型を呈する半導体基板1の一主面側に逆導電型半導体不純物を拡散するとともに、第一の金属を主成分とする表面電極4を形成し、他の主面側に第二の金属を主成分とする集電部5とこの第二の金属よりも半田濡れ性のよい第三の金属を主成分とする出力取出部6とから成る裏面電極を形成する太陽電池素子の形成方法であって、上記半導体基板1の一主面側に上記表面電極4となる第一の金属を主成分とするペーストを塗布するとともに、他の主面側に上記裏面電極の出力取出部6となる第三の金属を主成分とするペーストを塗布して1回目の焼成を行った後、他の主面側に上記裏面電極の集電部5となる第二の金属を主成分とするペーストを塗布して2回目の焼成を行う。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
一導電型を呈する半導体基板の一主面側に逆導電型半導体不純物を拡散するとともに、第一の金属を主成分とする表面電極を形成し、他の主面側に第二の金属を主成分とする集電部とこの第二の金属よりも半田濡れ性のよい第三の金属を主成分とする出力取出部とから成る裏面電極を形成する太陽電池素子の形成方法において、前記半導体基板の一主面側に前記表面電極となる第一の金属を主成分とするペーストを塗布するとともに、他の主面側に前記裏面電極の出力取出部となる第三の金属を主成分とするペーストを塗布して1回目の焼成を行った後、他の主面側に前記裏面電極の集電部となる第二の金属を主成分とするペーストを塗布して2回目の焼成を行うことを特徴とする太陽電池素子の形成方法。
IPC (3件):
H01L31/04
, H01L21/28
, H01L21/288
FI (5件):
H01L31/04 H
, H01L21/28 301R
, H01L21/288 M
, H01L21/288 Z
, H01L31/04 M
Fターム (30件):
4M104AA01
, 4M104BB02
, 4M104BB06
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104BB39
, 4M104CC01
, 4M104DD51
, 4M104DD55
, 4M104DD78
, 4M104EE17
, 4M104EE20
, 4M104FF02
, 4M104GG02
, 4M104GG05
, 4M104HH08
, 4M104HH15
, 4M104HH20
, 5F051BA18
, 5F051CB13
, 5F051CB27
, 5F051DA03
, 5F051EA15
, 5F051FA06
, 5F051FA10
, 5F051FA14
, 5F051FA15
, 5F051FA16
, 5F051FA30
, 5F051HA03
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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