特許

J-GLOBAL ID：200903024915722611

金属用研磨液材料、金属用研磨液、その製造方法及びそれを用いた研磨方法

発明者： 内田 剛 ,  星野 鉄哉 ,  寺崎 裕樹 ,  上方 康雄 ,  小山 直之 ,  本間 喜夫 ,  近藤 誠一
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 三品 岩男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-371451
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146840
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】高濃度の金属用研磨液材料を希釈することにより、容易に調整することができ、信頼性の高い金属膜の埋め込みパターンの形成を実現する金属用研磨液と、その製造方法と、これを用いる研磨方法とが提供される。【解決手段】金属用研磨液を調製するための材料として、酸化金属溶解剤と、保護膜形成剤と、該保護膜形成剤の溶解補助剤とを含む金属用研磨液材料。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

酸化金属溶解剤と、保護膜形成剤と、該保護膜形成剤の溶解補助剤とを含む金属用研磨液材料。

IPC (3件)：

H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

FI (4件)：

H01L21/304 622X ,  H01L21/304 622C ,  B24B37/00 H ,  C09K3/14 550Z

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB05 ,  3C058DA13 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 化学機械研磨方法およびそれに用いる組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-242289   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 配線の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-193899   出願人：住友金属工業株式会社
• ベンゾトリアゾール系化合物含有水性製剤の製造方法及びその水性製剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-085545   出願人：株式会社片山化学工業研究所
• 研磨用組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-124067   出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド