特許
J-GLOBAL ID：200903024920325671

液晶表示装置および液晶表示装置の作製方法

発明者：
前川 慎志

前川 慎志 について

, 
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
桑原 秀明

桑原 秀明 について

, 
守屋 芳隆

守屋 芳隆 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-328461
公開番号（公開出願番号）：特開2005-165304
出願日： 2004年11月12日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】液晶表示装置の作製工程において、フォトマスクを1枚使用することによって、レジスト塗布、プリベーク、露光、現像、ポストベークなどの工程と、その前後の工程において、被膜の形成およびエッチング工程、さらにレジスト剥離、洗浄や乾燥工程などが付加され、煩雑なものとなり、問題となっていた。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明では、チャネルエッチ型のボトムゲート(逆スタガ)型TFT構造を用いて、ソース領域およびドレイン領域のパターニングと画素電極のパターニングを同じマスクで行うことを特徴とする。また本発明は、配線層若しくは電極を形成する導電層や、所定のパターンを形成するためのマスクなど半導体装置を作製するために必要なパターンのうち、少なくとも一つ若しくはそれ以上を、選択的にパターンを形成可能な方法により形成して、液晶表示装置を作製することを特徴とするものである。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
絶縁表面上に形成されたゲート電極と、 前記ゲート電極上に絶縁膜を介して形成された半導体膜と、 前記半導体膜上に形成されたソース領域およびドレイン領域と、 前記ソース領域上に形成された前記ソース電極と、 前記ドレイン領域上に形成されたドレイン電極と、 前記ソース電極および前記ドレイン電極の少なくとも一部の端面を覆って形成されたバリア層と、 前記ドレイン電極および前記バリア層を覆って形成された画素電極と、を有し、 前記ソース領域の端面の少なくとも一部は、前記半導体膜の端面および前記ソース電極の端面と概略一致し、 前記ドレイン領域の端面の少なくとも一部は、前記半導体膜の端面および前記ドレイン電極の端面と概略一致することを特徴とする液晶表示装置。
IPC (6件)：
G02F1/1343 ,  G02F1/1345 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786
FI (9件)：
G02F1/1343 ,  G02F1/1345 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/20 ,  H01L29/78 612D ,  H01L29/78 618F ,  H01L29/78 627B ,  H01L29/78 627C ,  H01L29/78 619A
Fターム (98件)：
2H092GA17 ,  2H092GA25 ,  2H092GA34 ,  2H092HA02 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JB21 ,  2H092JB57 ,  2H092JB61 ,  2H092KA05 ,  2H092KA18 ,  2H092KB24 ,  2H092MA30 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  5F052AA02 ,  5F052BA07 ,  5F052DA01 ,  5F052DA02 ,  5F052DA03 ,  5F052DB01 ,  5F052DB03 ,  5F052DB07 ,  5F052EA12 ,  5F052HA01 ,  5F052JA02 ,  5F110AA16 ,  5F110AA28 ,  5F110BB02 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE42 ,  5F110EE47 ,  5F110EE48 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF07 ,  5F110FF10 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG05 ,  5F110GG06 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG16 ,  5F110GG17 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK15 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HK35 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5F110PP06 ,  5F110PP24 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ03 ,  5F110QQ09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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