特許
J-GLOBAL ID:200903024963966751
積層圧電素子及び超音波モータ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (22件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 勝村 紘
, 橋本 良郎
, 風間 鉄也
, 河井 将次
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
, 市原 卓三
, 山下 元
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-287895
公開番号(公開出願番号):特開2009-117559
出願日: 2007年11月05日
公開日(公表日): 2009年05月28日
要約:
【課題】当該積層圧電素子の積層精度を、積層圧電素子完成後に検出可能であり、且つこれを実現する為のスペース及び素子を新たに必要としない積層圧電素子及びこの積層圧電素子を具備する超音波モータを提供すること。【解決手段】第1の内部電極群23a,25a,27aは、第1の圧電材料21aの端部において形成された第1の露出部群29a,33a,31aを備え、且つ、第2の内部電極群23b,25b,27bは、第2の圧電材料21bの端部において形成された第2の露出部群29b,33b,31bを備える積層圧電素子。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
第1の内部電極群が形成され、その形成面に平行な方向への断面形状が矩形である第1の圧電材料と、
第2の内部電極群が形成され、その形成面に平行な方向への断面形状が前記第1の圧電材料と同一である第2の圧電材料と、が交互に複数枚積層されて構成されてなる積層圧電素子であって、
前記第1の内部電極群は、前記第1の圧電材料の前記断面形状を構成する4辺のうち、対向しない2つの辺を含む少なくとも2以上の辺に向けて延出され、前記第1の圧電材料の端部において形成された第1の露出部群を備え、且つ、
前記第2の内部電極群は、前記第2の圧電材料の前記断面形状を構成する4辺のうち、対向しない2つの辺を含む少なくとも2以上の辺に向けて延出され、前記第2の圧電材料の端部において形成された第2の露出部群を備え、
前記第1の露出部群と前記第2の露出部群に基づき、前記第1の圧電材料と前記第2の圧電材料の積層精度が検出可能であることを特徴とする積層圧電素子。
IPC (4件):
H01L 41/083
, H01L 41/187
, H01L 41/22
, H02N 2/00
FI (5件):
H01L41/08 S
, H01L41/08 Q
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
, H02N2/00 C
Fターム (13件):
5H680CC02
, 5H680CC03
, 5H680DD15
, 5H680DD23
, 5H680DD34
, 5H680DD37
, 5H680DD39
, 5H680DD95
, 5H680FF26
, 5H680FF33
, 5H680GG02
, 5H680GG21
, 5H680GG42
引用特許:
出願人引用 (1件)
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積層圧電素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-034980
出願人:キヤノン株式会社, 太平洋セメント株式会社
審査官引用 (5件)
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