特許
J-GLOBAL ID:200903025003573018
面発光型半導体レーザおよびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
片寄 恭三
, 片山 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-107322
公開番号(公開出願番号):特開2004-319553
出願日: 2003年04月11日
公開日(公表日): 2004年11月11日
要約:
【課題】メサ構造あるいはポスト構造を外部から保護することができる、VCSELを提供する。【解決手段】ポスト構造を有する選択酸化型の面発光型半導体レーザは以下の構成を有する。表面に下部半導体多層反射膜12を含むGaAs基板10と、基板上に形成されたポスト構造20と、基板上に形成される複数の離間された突出部30、31、32とを含み、複数の突出部30、31、32は、ポスト構造20と同程度の高さを有する。好ましくは、ポスト構造20と複数の突出部は、同一の半導体層を含み、かつ、ポスト構造と複数の突出部との上面が実質的に同一の高さである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ポスト構造を有する選択酸化型の面発光型半導体レーザであって、
表面に半導体層を含む基板と、
前記基板上に形成された前記ポスト構造と、
前記基板上に離間して形成された複数の突出部とを含み、
前記複数の突出部は、前記ポスト構造と同程度の高さを有する、面発光型半導体レーザ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (12件):
5F073AA11
, 5F073AA65
, 5F073AA74
, 5F073AA89
, 5F073AB17
, 5F073BA02
, 5F073BA08
, 5F073CA04
, 5F073DA05
, 5F073DA21
, 5F073DA27
, 5F073EA29
引用特許:
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