特許
J-GLOBAL ID：200903025003845573
レーザー光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-072741
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253916
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【目的】 レーザー光の強度分布を均一にする光学装置(ホモジナイザー)において、光の損失を低減する構造を提供する。。【構成】 ホモジナイザーに用いられるマルチシリンドリカルレンズ(シリンドリカルレンズが多数形成されたガラス基板)において、凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズを交互に配置し、かつ、上記シリンドリカルレンズ間を滑らかな構造とする。かくすることにより、従来、シリンドリカルレンズ間の境界部分生じた光の散乱を低減できる。
請求項（抜粋）：
線状もしくは方形状のビーム形状を有するレーザー光を形成する装置において、レーザー発振装置と被照射物の間に挿入して用いられるホモジナイザーにおいて、該ホモジナイザーにおいて用いられるマルチシリンドリカルレンズは、凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズが交互に配置され、かつ、前記シリンドリカルレンズ間は滑らかに連続していることを特徴とするレーザー光学装置。
IPC (4件)：
G02B 27/00
, G02B 3/00
, G02B 3/06
, H01L 21/027
G02B 27/00 V
, G02B 3/00 A
, G02B 3/06
, H01L 21/30 515 A
