特許
J-GLOBAL ID：200903025042196221
屈折率制御型レーザ描画導波路の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-011696
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215375
出願日： 2002年01月21日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 光散乱損失が極めて少ない高品質な光導波路を容易に得ることができる新規な屈折率制御型レーザ描画導波路の製造方法の提供。【解決手段】 透明な低屈折率の材質2を所望速度で移動しながらその表面上、あるいはその内部に超短パルスの平行レーザビームB1をレンズで集光、照射する直前にアパーチャ3を挿入してその平行ビームB1径を所望径に絞ってからレンズLで集光、照射して上記材質2にほぼステップ状の屈折率分布を有する光伝搬層4を形成する。これによって得られた光伝搬層4周辺部が急峻な屈折率となるため、この周辺部の構造不均一性による光損失を大幅に低減することができる。
請求項（抜粋）：
透明な低屈折率の材質を所望速度で移動しながらその表面上、あるいはその内部に波長が700nmから1600nmの範囲でパルス幅が1000フェトム秒以下、その繰り返し周波数が400kHz以下の超短パルスの平行レーザビームをレンズで集光、照射して光伝搬層を形成する屈折率制御型レーザ描画導波路の製造方法において、上記平行レーザビームをレンズで集光、照射する直前にアパーチャを挿入してその平行ビーム径を所望径に細く絞ってからその整形ビームをレンズで集光、照射して上記材質にほぼステップ状の屈折率分布を有する光伝搬層を形成することを特徴とする屈折率制御型レーザ描画導波路の製造方法。
Fターム (5件)：
2H047KA04
, 2H047PA22
, 2H047QA04
, 2H047TA36
, 2H047TA43
