特許
J-GLOBAL ID:200903025291335584
感光性転写シート、感光性積層体、及び配線パターン形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳川 泰男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-064823
公開番号(公開出願番号):特開2005-250416
出願日: 2004年03月08日
公開日(公表日): 2005年09月15日
要約:
【課題】 弱アルカリ水溶液による現像性、強アルカリ水溶液における剥離性に優れ、薄層化により高解像度化が可能であり、かつ薄膜でもスルーホール上のテント強度が優れる高密度プリント配線板の製造用感光性転写シートを提供する。【解決手段】 支持体上に、側鎖にカルボキシル基を有する繰り返し単位と、側鎖にウレタン基、ウレア基、スルホンアミド基、フェノール性水酸基及びイミド基からなる群から選ばれる基を有する繰り返し単位とを有する共重合ポリマー、ウレタン基、ウレア基、スルホンアミド基、フェノール性水酸基及びイミド基からなる群から選ばれる基を有する重合性化合物、及び光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物層が形成されている感光性転写シート。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
支持体上に、側鎖にカルボキシル基を有する繰り返し単位と、側鎖にウレタン基、ウレア基、スルホンアミド基、フェノール性水酸基及びイミド基からなる群から選ばれる基を有する繰り返し単位とを有する共重合ポリマー、ウレタン基、ウレア基、スルホンアミド基、フェノール性水酸基及びイミド基からなる群から選ばれる基を有する重合性化合物、及び光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物層が形成されている感光性転写シート。
IPC (4件):
G03F7/004
, G03F7/027
, G03F7/033
, H05K3/00
FI (4件):
G03F7/004 512
, G03F7/027
, G03F7/033
, H05K3/00 F
Fターム (25件):
2H025AA04
, 2H025AA16
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC51
, 2H025BC83
, 2H025CA01
, 2H025CA14
, 2H025CA18
, 2H025CA28
, 2H025CA30
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025CB52
, 2H025DA13
, 2H025DA19
, 2H025EA08
, 2H025FA04
, 2H025FA17
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)