特許

J-GLOBAL ID：200903025429186550

アライメント装置

発明者： 岩田 彰太郎 ,  岡田 誠
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-178434
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358202
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 メタルマスクを浮き上がらせることなく、正確に位置決めを行なうことができるアライメント装置を得る。【解決手段】 従来のメタルマスクを押し付けるシリンダに、押付力の弱い浮動シリンダを設けて、浮動シリンダの可動端に設けた可動ピンにより、メタルマスクを固定ピン側に押し付けて位置決めするように構成した。

請求項（抜粋）：

ガラス基板とメタルマスクとを位置決め装着するアライメント装置において、位置決め台上に配置され、メタルマスクを載置するマスクプレートと、上記位置決め台上に配置され、上記メタルマスクの一方の端面を所定の位置に位置決めする固定ピンと、上記メタルマスクを上記固定ピン側に押し付けるための可動ピンと、上記メタルマスクを上記マスクプレート上で移動可能な押付力を有するとともに、上記可動ピンを可動端に装着する浮動シリンダと、上記浮動シリンダよりも大きな押付力を有するとともに、上記位置決め台上に配置され、上記浮動シリンダを可動端に装着する押付シリンダと、を備え、上記浮動シリンダと上記押付シリンダの動作により上記可動ピンを上記メタルマスクの端面に押し当て、上記メタルマスクが上記固定ピンに接するまで移動させて、上記メタルマスクを上記固定ピンに対して位置決めするように構成したことを特徴とするアライメント装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  G02F 1/13 101

FI (3件)：

H01L 21/68 G ,  C23C 14/50 F ,  G02F 1/13 101

Fターム (10件)：

2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  4K029AA09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029HA04 ,  4K029KA01 ,  5F031CA05 ,  5F031KA02 ,  5F031KA06

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-220330   出願人：凸版印刷株式会社
• 基板の位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-266676   出願人：株式会社ニコン
• 基板支持具および基板の支持方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-310551   出願人：東レ株式会社