特許
J-GLOBAL ID：200903025438090418

ペデスタル基板、電子顕微鏡用測定治具、測定試料組み立て体、測定試料の作製方法及び測定方法

発明者：
高島 章

高島 章 について

, 
鎌田 善己

鎌田 善己 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (8件)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-063936
公開番号（公開出願番号）：特開2004-271393
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】TEM観察用試料を簡便に作製できるペデスタル基板を提供する。【解決手段】試料保持部3、梁部8及び治具作製用ボディ4とを備える。試料保持部3は、頂部に電子顕微鏡観察用の試料を搭載する観察対象領域1を有する。梁部8は、観察対象領域1に垂直方向に測った試料保持部3の厚さよりも薄い厚さを有し、この試料保持部3の観察対象領域1を定義する立体形状を構成する複数の側壁の少なくとも1の側壁に接続されている。治具作製用ボディ4は、この梁部8に接続され、試料保持部3の底面の面積よりも大きく、且つ試料保持部3の底面と同一平面レベルの底面を有する治具作製用ボディ4とを備える。梁部8は、試料保持部3と治具作製用ボディ4とを分離する分離溝21の底部に形成された残存部により狭窄構造として形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
頂部に電子顕微鏡観察用の試料を搭載する観察対象領域を有する試料保持部と、 前記観察対象領域に垂直方向に測った前記試料保持部の厚さよりも薄い厚さを有し、該試料保持部の前記観察対象領域を定義する立体形状を構成する複数の側壁の少なくとも1の側壁に接続された梁部と、 該梁部に接続され、前記試料保持部の底面の面積よりも大きく、且つ前記試料保持部の底面と同一平面レベルの底面を有する治具作製用ボディ とを備えることを特徴とするペデスタル基板。
IPC (4件)：
G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/20
FI (7件)：
G01N1/28 F ,  G01N1/32 B ,  G01N23/04 ,  H01J37/20 A ,  G01N1/28 G ,  G01N1/28 N ,  G01N1/28 W
Fターム (30件)：
2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA16 ,  2G001QA02 ,  2G001QA10 ,  2G001RA01 ,  2G001RA04 ,  2G001RA20 ,  2G052AA11 ,  2G052AA13 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052BA15 ,  2G052DA33 ,  2G052EC02 ,  2G052EC14 ,  2G052EC18 ,  2G052EC22 ,  2G052FD06 ,  2G052GA34 ,  2G052JA04 ,  2G052JA11 ,  5C001AA01 ,  5C001CC01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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