特許
J-GLOBAL ID：200903004239156429
電子顕微鏡用試料処理装置および電子顕微鏡用試料ホルダ、並びに、電子顕微鏡観察方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007780
公開番号（公開出願番号）：特開2001-202913
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：
【要約】【課題】 各温度条件やガス条件を容易に変更し、ウエハ状態での反応を忠実に再現する。【解決手段】 バルク状態の試料2を装着した電子顕微鏡用試料ホルダ10を加熱反応装置13の試料室14に挿入してガスを導入し、温度コントローラからのIR光19で加熱する。加熱処理後の試料2を搭載したままの電子顕微鏡用試料ホルダ10を収束荷電粒子ビーム装置に装着し、Ga荷電粒子ビーム21を照射して薄片化加工する。そして、薄片化加工後の試料2を搭載したままの電子顕微鏡用試料ホルダ10を透過型電子顕微鏡に装着し、電子線22を通過させて反応状態を観察する。こうして、バルク状態の試料2に対して加熱処理を行った後に、薄片化加工して電子顕微鏡観察することによって、現実のウエハ状態での加熱反応を忠実に再現できる。また、試料室14内の試料2に対する導入ガス条件や加熱温度は、容易に変更可能になる。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡観察用の試料に対して処理を行う電子顕微鏡用試料処理装置であって、試料ステージを搭載した電子顕微鏡用試料ホルダが挿入される試料室と、上記試料室内を排気する排気手段と、上記試料室内に、ガスをその種類および流量を切換えて供給するガス供給手段と、上記試料室内に挿入された電子顕微鏡用試料ホルダにおける試料ステージの個所を加熱する加熱手段と、上記加熱手段による加熱温度を制御する加熱温度制御手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡用試料処理装置。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, G01N 1/28
, H01L 21/66
H01J 37/20 E
, H01J 37/20 A
, H01L 21/66 N
, G01N 1/28 K
4M106AA02
, 4M106AA10
, 4M106AA11
, 4M106BA02
, 4M106CB30
, 4M106DJ33
, 5C001AA01
, 5C001AA02
, 5C001AA07
, 5C001BB01
, 5C001BB03
, 5C001CC03
