特許

J-GLOBAL ID：200903025447683316

ディスク状対象物を検査するシステム

発明者： クヌート ヒルタヴスキー ,  レネ シュエンク
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムス イェーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 藤田 アキラ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-369702
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184283
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：

【課題】ディスク状対象物を検査するシステムを提供する。【解決手段】ディスク状基板32を検査するシステムを開示する。システム100は筐体に囲まれている。少なくともX方向およびY方向に移動可能であるとともに載置板22により担持される台2が筐体50内に設けられている。載置板22は筐体50に対して防振されている。同様に排気ユニット40が載置板22の下方に設けられているとともにそこから離れて配置されている。排気ユニット40は空気流入用開口36を有する。空気流入用開口36は排気ユニット内で載置板22の端部と筐体50の壁との間に設けられている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ディスク状基板を検査する、いくつかの壁で形成された筐体に囲まれたシステムであって、ディスク状対象物の少なくとも一部領域を撮像する少なくとも1つのカメラと光学要素とが設けられ、少なくともX方向およびY方向に移動可能で前記ディスク状基板を上に配置する台を載置板が担持するシステムにおいて、前記載置板が前記筐体に対して防振され、排気ユニットが前記載置板の下方に離れて配置され、前記載置板と前記筐体の壁との間の距離に本質的に相当する幅を呈する空気吸入開口が前記排気ユニット内に実装されている、システム。

IPC (1件)：

G01N 21/956

FI (1件)：

G01N21/956 A

Fターム (8件)：

2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AC11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 独国出願公開第10351848.7号明細書
  
• 独国特許第4310149C2号明細書
  
• 独国特許第19538040C2号明細書
  
• 欧州特許第0335752号明細書
  

審査官引用 (3件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-313074   出願人：ソニー株式会社
• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-313073   出願人：ソニー株式会社
• 測定・加工方法および測定・加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-158107   出願人：株式会社ニコン