特許
J-GLOBAL ID：200903025689490415

表面凹凸検査方法および装置

発明者：
鷲崎 一郎

鷲崎 一郎 について

, 
石井 明

石井 明 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-170284
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349716
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】 物体表面の凹凸を、簡単な構成で確実に検出する。【解決手段】 検体1の表面には、格子状照明装置2から明部4と暗部5との境界6が明瞭な状態で照明を行う。センサ3は、動き検出用固体撮像装置を含み、検体1の表面で境界6が通過する部分の近傍を撮像する。凹凸欠陥7が存在すると、境界6が通過する際に明暗反転部8,9が生じる。センサ3内の動き検出用固体撮像装置は、マトリクス状に配置される画素で画像をフレーム毎に撮像し、フレーム間の画像の違いに基づいて動きを検出する。検体1の表面の凹凸欠陥7では、境界6の通過時に明暗反転部8,9が生じるので、画像の動きとして凹凸欠陥7を容易に判断することができる。
請求項（抜粋）：
物体表面の凹凸を検査する方法であって、外観的には滑らかな物体表面を、明暗の境界が生じるように照明し、該境界を、該物体表面に対して移動させ、移動中の該境界近傍を動き検出用固体撮像装置で撮像し、該動き検出用固体撮像装置で動きが検出されるとき、表面凹凸が存在していると判断することを特徴とする表面凹凸検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/30 102 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/892 ,  G01N 21/958
FI (4件)：
G01B 11/30 102 Z ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/892 A ,  G01N 21/958
Fターム (48件)：
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065CC11 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD11 ,  2F065FF01 ,  2F065FF08 ,  2F065GG18 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065MM03 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ34 ,  2F065SS07 ,  2F065SS09 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  2G051AA32 ,  2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AA89 ,  2G051AB07 ,  2G051AB10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051ED07
引用特許：
審査官引用 (7件)
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