近赤外線カットフィルターおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江藤聡明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-320972
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121636
出願日： 2001年10月18日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】PDPから放射される近赤外線を反射し、太陽光の近赤外線を反射する近赤外線カットフィルターをスパッタリングで高速に成膜する。【解決手段】スパッタリング法を用い、導電性炭化ケイ素と導電性酸化チタンをターゲットとして成膜を行う。

請求項（抜粋）：

基板上に低屈折率膜と高屈折率膜を交互に積層されてなる近赤外線カットフィルターにおいて、低屈折率膜が、導電性炭化ケイ素をターゲットとして用い、高屈折率膜が、導電性酸化チタンをターゲットとして用いてスパッタリングにより形成されていることを特徴とする近赤外線カットフィルター。

IPC (6件)：

G02B 5/26 , C23C 14/06 , G02B 1/10 , G02B 5/28 , H01J 9/20 , H01J 11/02

FI (6件)：

G02B 5/26 , C23C 14/06 P , G02B 5/28 , H01J 9/20 A , H01J 11/02 E , G02B 1/10 Z

Fターム (39件)：

2H048FA05 , 2H048FA07 , 2H048FA09 , 2H048FA12 , 2H048FA24 , 2H048GA07 , 2H048GA09 , 2H048GA11 , 2H048GA35 , 2H048GA60 , 2H048GA61 , 2K009BB02 , 2K009BB13 , 2K009BB14 , 2K009BB24 , 2K009BB25 , 2K009CC01 , 2K009CC03 , 2K009CC42 , 2K009DD04 , 2K009EE00 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029BA41 , 4K029BA46 , 4K029BA48 , 4K029BA54 , 4K029BA56 , 4K029BA58 , 4K029BB02 , 4K029BC08 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029DC05 , 4K029DC16 , 4K029DC39 , 5C028AA10 , 5C040GH10 , 5C040MA26

引用特許：

審査官引用 (8件)

ターゲットとその製造方法および高屈折率膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-024420 出願人：旭硝子株式会社
半導体表面処理用治具
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-232780 出願人：株式会社デンソー
カラーフィルター基板及び液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-176230 出願人：旭硝子株式会社

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