特許
J-GLOBAL ID：200903025817285994

粘着テープの拡張装置

発明者：
中村 勝

中村 勝 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-315655
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123658
出願日： 2005年10月31日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】環状のフレームの内側開口部を覆うように装着され、ウエーハが貼着された熱収縮性粘着テープを均一に拡張することができる粘着テープの拡張装置を提供する。【解決手段】ウエハ10を貼着した熱収縮性粘着テープ3を保持する環状のフレームと、このフレームをクランプ52で保持するフレーム保持手段と、熱収縮性粘着テープにおけるウエーハ貼着領域と環状のフレームとの間の収縮領域に作用する拡張補助ローラ613を備えた環状の拡張部材61と、熱収縮性粘着テープにおけるウエーハ貼着領域を吸引保持する保持面を備えた保持テーブル62と、フレーム保持手段に対して拡張部材および保持テーブルとを軸方向に相対的に移動せしめる進退手段と、拡張部材に配設された拡張補助ローラが保持テーブルの保持面より下方の退避位置になるように拡張部材を作動する退避手段7と、熱収縮性粘着テープにおける収縮領域を加熱する加熱手段とを具備している。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
環状のフレームの内側開口部を覆うように装着されウエーハが貼着された熱収縮性粘着テープを拡張する貼着テープの拡張装置において、 該環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、 該フレーム保持手段に保持された該環状のフレームに装着された該熱収縮性粘着テープにおけるウエーハが貼着されているウエーハ貼着領域と該環状のフレームとの間の収縮領域に作用する拡張補助ローラを備えた環状の拡張部材と、 該拡張部材内に配設され該熱収縮性粘着テープにおける該ウエーハ貼着領域を吸引保持する保持面を備えた保持テーブルと、 該フレーム保持手段と該拡張部材および該保持テーブルとを軸方向に基準位置から拡張位置の間を相対的に移動せしめる進退手段と、 該拡張部材に配設された該拡張補助ローラが該保持テーブルの保持面より下方の退避位置になるように該拡張部材を作動する退避手段と、 該環状のフレームが該フレーム保持手段に保持された状態で該環状のフレームに装着された該熱収縮性粘着テープにおける該収縮領域を加熱する加熱手段と、を具備している、 ことを特徴とする粘着テープの拡張装置。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 W
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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