特許
J-GLOBAL ID：200903025930176484
角速度センサ
出願人/特許権者： ,
富士通メディアデバイス株式会社
富士通メディアデバイス株式会社 について
代理人 (1件)： 吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-039128
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185441
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】 生産性に優れるとともに、小型で高性能な角速度センサを提供すること。【解決手段】 角速度センサ101において、第1の面およびこれとは反対の第2の面により規定される厚みを有する基板に対して厚みの方向にエッチングを施すことにより一体成形された、フレーム20と、振動子10と、フレーム20および振動子10を連結するためのトーションバー30とを備え、振動子10は、支持部11と、当該支持部11から基板の面内方向に延出する一対の第1アーム12a,12bと、面内方向において第1アーム12a,12bとは反対方向に支持部11から延出する一対の第2アーム13a,13bとを有するH型振動子10であり、H型振動子10の第1の面には、H型振動子10の面内振動を励起するための駆動用圧電素子40と、H型振動子10の面垂直振動を検出するための検出用圧電素子50,60とを設けることとした。
請求項（抜粋）：
第1の面およびこれとは反対の第2の面により規定される厚みを有する基板に対して前記厚みの方向にエッチングを施すことにより一体成形された、フレームと、振動子と、前記フレームおよび前記振動子を連結するためのトーションバーと、を備える角速度センサであって、前記振動子は、支持部と、当該支持部から前記基板の面内方向に延出する一対の第1アームと、前記面内方向において前記第1アームとは反対方向に前記支持部から延出する一対の第2アームとを有するH型振動子であり、前記H型振動子の第1の面には、前記振動子の面内振動を励起するための駆動用圧電素子と、前記振動子の面垂直振動を検出するための検出用圧電素子とが設けられていることを特徴とする、角速度センサ。
IPC (3件)：
FI (3件)：
Fターム (7件)：
引用特許：
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