特許
J-GLOBAL ID：200903026009983427
プラズマ発生装置及び薄膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-042920
公開番号（公開出願番号）：特開平11-224797
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ発生装置のシールド電極を改良した処理装置を提供する。【解決手段】 プラズマ発生装置7のシールド電極25は2つの部分、即ち、カソード16からの電子が直接アノード21やケース15に照射されるのを防止するためのシールド体26と、ケース内と外部との圧力差をつけると共にケース内に発生したプラズマからの電子を通過させるためのオリフィス体27から成る。そして、前記シールド体26はタンタルやモリブデンの如き高融点金属材料から成り、ケース15に固定されている。一方、オリフィス部27は、イオンスパッタされ難い材料、例えば、カーボンから成り、しかも、前記シールド体26の先端部に、例えば、ねじ込み式、若しくは差込式で着脱可能に取り付けられている。
請求項（抜粋）：
放電室と、該放電室内に配置されたカソードと、該放電室の端部に配置されたアノードと、前記カソードに対して少なくとも前記アノードを囲うように前記放電室内に取り付けられた筒状のシールド体と、前記カソードと前記アノードとの間に放電電圧を印加するための放電電源と、前記放電室内に放電用ガスを供給するための手段を備えており、前記放電室内で形成されたプラズマ中の電子を前記アノードの開口部内側にある前記シールド体の一部を通して前記放電室外の真空容器中に照射させるように構成したプラズマ発生装置において、前記シールド体のうち、前記アノードの開口部内側に対向する部分をイオンスパッタされ難い部材で成し、他の部分をカソードからの熱を遮蔽する部材で成したことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (5件)：
H05H 1/48
, C23C 14/32
, H01J 27/20
, H01J 37/077
, H01J 37/08
H05H 1/48
, C23C 14/32 B
, H01J 27/20
, H01J 37/077
, H01J 37/08
