特許
J-GLOBAL ID：200903026033183377

被処理物搬送装置、半導体製造装置及び被処理物の処理方法

発明者：
池田 和人

池田 和人 について

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綿引 真一郎

綿引 真一郎 について

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吉田 久志

吉田 久志 について

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油谷 幸則

油谷 幸則 について


出願人/特許権者：
国際電気株式会社

国際電気株式会社 について


代理人 (1件)： 油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146579
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068219
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 真空チャンバ内の気密容器の気密が漏れても、気密容器内に収容した大気圧対応の被処理物搬送ロボット用の駆動部の破損を回避できるようにする。【解決手段】 真空チャンバ21内に被処理物24を搬送するロボット32を設ける。ロボット32は搬送アーム33と駆動部34から構成され、搬送アーム33は気密容器35外に、駆動部34は気密容器35内に収納される。チャンバ21内のロボット32をチャンバ21外に設けた昇降機構30により昇降させるために、チャンバ21内に昇降機構30により進退するシャフト42を気密に挿入する。気密構造はシャフト42の外周を覆うベローズ43とチャンバ21及び昇降機構30の連結部に設けるOリング44によって確保する。チャンバ21内に挿入したシャフト42に、ロボット32の駆動部34を納めた気密容器35を連結する。気密容器35はシャフト42の中空部45を介して外部と連通して内部を常に大気圧にする。
請求項（抜粋）：
チャンバと、前記チャンバ内に設けられ、搬送部及び前記搬送部を駆動する駆動部とを有して、前記駆動部で前記搬送部を駆動して前記搬送部に載置される前記被処理物を搬送する被処理物搬送手段と、前記被処理物搬送手段の前記駆動部を前記チャンバ内で気密に格納する気密容器と、前記チャンバの外側から前記チャンバ内に気密に挿入されて前記気密容器に連結され、前記チャンバに対して前記気密容器を進退させて前記チャンバ内で前記被処理物搬送手段を移動するシャフトと、前記チャンバ外に設けられ、前記シャフトを進退させる移動機構と、前記シャフトに設けられ、前記気密容器を前記チャンバの外部に通じて前記気密容器内を外部雰囲気とする通気路とを備えた被処理物搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/22 511 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L 21/22 511 B ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/68 A
引用特許：
出願人引用 (3件)

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