特許
J-GLOBAL ID：200903026118882886

層間絶縁膜用感光性樹脂組成物

発明者：
舘野 功

舘野 功 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-074858
公開番号（公開出願番号）：特開2006-259083
出願日： 2005年03月16日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】 優れた耐熱性を備えた層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂成分(A)、感光剤(B)を含む感光性樹脂組成物であって、前記(A)成分が、下記一般式(a1)で表される構成単位(a1)を有する樹脂成分(A1)を含有することを特徴とする層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。【化1】(上記一般式中、R0は水素原子またはメチル基を表し、R1は単結合または炭素数1〜5のアルキレン基を表し、R2は炭素数1〜5のアルキル基を表し、aは1〜5の整数を表し、bは0または1〜4の整数を表し、a+bは5以下である。なお、R2が2個以上存在する場合、これらのR2は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。)【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂成分(A)、感光剤(B)を含む感光性樹脂組成物であって、 前記(A)成分が、下記一般式(a1)で表される構成単位(a1)を有する樹脂成分(A1)を含有することを特徴とする層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/023 ,  C08F 20/30 ,  G03F 7/004
FI (3件)：
G03F7/023 ,  C08F20/30 ,  G03F7/004 501
Fターム (18件)：
2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J100AB04Q ,  4J100AL08P ,  4J100BA03P ,  4J100BC43P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (3件)

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