金属ストリップの連続式化学蒸着装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：杉村興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-068684
公開番号（公開出願番号）：特開2005-256075
出願日： 2004年03月11日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】特に均一な蒸着を実現する手段を確立して、長尺物である金属ストリップの化学蒸着を連続して実施できる装置を提供する。【解決手段】金属ストリップを導入した処理炉の内部に、処理ガスを供給して金属ストリップの表面に化学蒸着を施す装置において、該金属ストリップを鉛直方向に搬送する、縦型の処理炉の内部に、金属ストリップを挟んで対をなす、処理ガスを金属ストリップの表面に向けて供給するノズルを設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属ストリップを導入した処理炉の内部に、処理ガスを供給して金属ストリップの表面に化学蒸着を施す装置であって、該金属ストリップを鉛直方向に搬送する、縦型の処理炉をそなえ、該処理炉の内部に、金属ストリップを挟んで対をなす、処理ガスを金属ストリップの表面に向けて供給するノズルを設けたことを特徴とする金属ストリップの連続式化学蒸着装置。

IPC (2件)：

C23C16/54 , C23C16/455

FI (2件)：

C23C16/54 , C23C16/455

Fターム (12件)：

4K030AA03 , 4K030AA17 , 4K030AA18 , 4K030BA18 , 4K030BA38 , 4K030CA02 , 4K030CA17 , 4K030EA06 , 4K030EA11 , 4K030FA10 , 4K030GA14 , 4K030KA04

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭63-26327号公報
CVD反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-222268 出願人：株式会社フジクラ, 中部電力株式会社
炉内雰囲気調整用ガス供給ノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-066936 出願人：日本鋼管株式会社

審査官引用 (4件)

特開昭63-026327
CVD反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-222268 出願人：株式会社フジクラ, 中部電力株式会社
プラズマ重合処理装置の給/排気システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-565424 出願人：エルジーエレクトロニクスインコーポレイティド

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