特許
J-GLOBAL ID：200903026216295263

位置合わせ方法及び位置合わせ装置

発明者：
小林 重夫

小林 重夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130162
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323388
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 基板を制限することなく高精度かつ高能率で位置合わせする。【解決手段】 ステップS11ではウエハをキャリアから予備アライメント用ステージに搬送する。ステップS12ではウエハが2枚目以降であるか否かを判断し、ウエハが2枚目以降の場合にはステップS13に進み、ウエハが1枚目のときはステップS13を介することなくステップS14に進む。ステップS14ではウエハを予備アライメントし、ステップ15ではウエハを予備アライメントステージから精密アライメント用ステージに搬送して精密アライメントし、θ駆動量を記憶する。ステップS13では前のウエハのθ駆動量を設定し、ステップ14ではオリエンテーションフラット又はノッチから検出した回転位置に、ステップS13で設定したθ駆動量を加味し、2枚目以降のウエハを予備アライメントする。
請求項（抜粋）：
基板を第1のステージで位置合わせし、その後に第2のステージに搬送して位置ずれ情報を求め、前記第1のステージにおいて次の基板を位置合わせする際に前記位置ずれ情報を加味することを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00
FI (2件)：
H01L 21/30 520 A ,  G03F 9/00 H
Fターム (8件)：
5F046AA05 ,  5F046BA04 ,  5F046EB01 ,  5F046EC02 ,  5F046FA17 ,  5F046FC04 ,  5F046FC07 ,  5F046FC08
引用特許：
審査官引用 (3件)

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