特許
J-GLOBAL ID：200903026256112056

感放射線性樹脂組成物およびバンプ形成用材料

発明者：
佐野 公康

佐野 公康 について

, 
千葉 秀貴

千葉 秀貴 について

, 
五十嵐 勝利

五十嵐 勝利 について


出願人/特許権者：
日本合成ゴム株式会社

日本合成ゴム株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-136034
公開番号（公開出願番号）：特開平8-301911
出願日： 1995年05月10日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：
【要約】【構成】 (A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物からなる構成成分が10〜50重量%、(b)環状アルキル基を有し、カルボキシル基を有しないラジカル重合性化合物からなる構成成分が20〜60重量%および(c)他のラジカル重合性化合物からなる構成成分が5〜40重量%からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、アルカリ現像液に対する現像性と20μm以上の厚膜で十分な解像度を有し、しかも耐メッキ液性に優れ、さらに現像時の基板との密着性とメッキ液に対する良好な濡れ性を示し、メッキによる良好なバンプを形成することができ、かつ硬化剤の基板からの剥離性に優れている。
請求項（抜粋）：
(A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物からなる構成成分が10〜50重量%、(b)環状アルキル基を有し、カルボキシル基を有しないラジカル重合性化合物からなる構成成分が20〜60重量%および(c)他のラジカル重合性化合物からなる構成成分が5〜40重量%からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
C08F 2/48 MDT ,  C08L 33/00 LHR ,  C08L 33/00 LHT ,  C25F 3/14 ,  G02F 1/133 ,  H01L 21/321
FI (6件)：
C08F 2/48 MDT ,  C08L 33/00 LHR ,  C08L 33/00 LHT ,  C25F 3/14 ,  G02F 1/133 ,  H01L 21/92 603 Z
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM