特許
J-GLOBAL ID：200903026283383096

樹脂スタンパの製造方法及び製造装置とインプリント方法、並びに磁気記録媒体と磁気記録再生装置

発明者：
内田 博

内田 博 について

, 
福島 正人

福島 正人 について

, 
坂田 優子

坂田 優子 について


出願人/特許権者：
昭和電工株式会社

昭和電工株式会社 について


代理人 (6件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-267529
公開番号（公開出願番号）：特開2009-143221
出願日： 2008年10月16日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：
【課題】低コストで提供可能な樹脂スタンパを安価に製造することができる技術の提供を目的とする。【解決手段】本発明は表面にパターンが形成されたマザースタンパに対して樹脂製の複合基材を押し付けて圧縮成形し、該複合基材に前記マザースタンパのパターンを転写するとともに、前記複合基材を打ち抜き加工して板状の樹脂スタンパを製造する方法であって、前記樹脂製の複合基材は少なくとも一層の硬化性の樹脂が形成され、前記圧縮形成を行う際、活性エネルギー線を照射、または加熱して複合基材の一部を硬化させてパターンを転写して複合基材を打ち抜き加工することにより樹脂スタンパを得ることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
樹脂製の基材に、少なくとも1層の硬化性の樹脂の層を形成させて複合基材とした後、表面にパターンが形成されたマザースタンパに対して、該複合基材の該硬化性の樹脂の層側を押し付けて圧縮成形し、該複合基材に前記マザースタンパのパターンを転写する工程(1)、 活性エネルギー線を照射、または加熱して該複合基材の一部を硬化させる工程(2)、および、 前記基材及び/または複合基材を打ち抜き加工する工程(3) を有することを特徴とする樹脂スタンパの製造方法。
IPC (5件)：
B29C 59/02 ,  G11B 5/855 ,  G11B 5/84 ,  B29C 33/40 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
B29C59/02 Z ,  G11B5/855 ,  G11B5/84 Z ,  B29C33/40 ,  H01L21/30 502D
Fターム (32件)：
4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA09 ,  4F202CA19 ,  4F202CB29 ,  4F202CD23 ,  4F202CK43 ,  4F209AA36 ,  4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AD08 ,  4F209AD20 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AH79 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN03 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5D112AA20 ,  5D112AA24 ,  5D112BA10 ,  5D112GA00 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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