特許
J-GLOBAL ID:200903026320110127
樹脂組成物、接着フィルムおよび樹脂ワニス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
速水 進治
, 佐藤 浩司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-160356
公開番号(公開出願番号):特開2006-016610
出願日: 2005年05月31日
公開日(公表日): 2006年01月19日
要約:
【要約書】【課題】 基板上に適用したときに、樹脂組成物の適用のための位置合わせ精度に優れる上に、フォトリソグラフィ技術におけるパターニング処理の解像度を向上させる。【解決手段】 半導体部品と、基板とを接合するために用いる接着層を形成する樹脂組成物であって、ラジカル重合性二重結合を有する樹脂と、熱硬化性樹脂と、アルカリ可溶性基および二重結合を有する樹脂と、を含んでいる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
半導体部品と、基板とを接合するために用いる接着層を形成する樹脂組成物であって、
ラジカル重合性二重結合を有する樹脂と、熱硬化性樹脂と、アルカリ可溶性基および二重結合を有する樹脂と、を含む樹脂組成物。
IPC (4件):
C09J 163/00
, C08F 290/14
, C09J 7/02
, H01L 21/52
FI (4件):
C09J163/00
, C08F290/14
, C09J7/02 Z
, H01L21/52 E
Fターム (60件):
4J004AA13
, 4J004AA18
, 4J040EC002
, 4J040GA01
, 4J040KA42
, 4J127AA03
, 4J127BB041
, 4J127BB042
, 4J127BB081
, 4J127BB082
, 4J127BB121
, 4J127BB221
, 4J127BB222
, 4J127BC031
, 4J127BC032
, 4J127BC131
, 4J127BC151
, 4J127BC152
, 4J127BD061
, 4J127BD062
, 4J127BD111
, 4J127BE11X
, 4J127BE111
, 4J127BE112
, 4J127BE29Y
, 4J127BE291
, 4J127BE292
, 4J127BE31Y
, 4J127BE311
, 4J127BE34X
, 4J127BE341
, 4J127BE342
, 4J127BF25Y
, 4J127BF251
, 4J127BG04Y
, 4J127BG041
, 4J127BG042
, 4J127BG05Y
, 4J127BG051
, 4J127BG10Y
, 4J127BG101
, 4J127BG102
, 4J127BG12Y
, 4J127BG121
, 4J127BG122
, 4J127BG16X
, 4J127BG161
, 4J127BG162
, 4J127BG17Y
, 4J127BG171
, 4J127BG172
, 4J127DA52
, 4J127EA15
, 4J127FA14
, 5F047BA23
, 5F047BA24
, 5F047BA33
, 5F047BA34
, 5F047BB03
, 5F047BB13
引用特許: