特許
J-GLOBAL ID:200903026337157232
粘着シートおよび電子部品製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-215561
公開番号(公開出願番号):特開2007-031534
出願日: 2005年07月26日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
【課題】被着体の障害を引き起こす摩擦帯電を生じ難くし、帯電防止層の耐磨耗性を向上させることで帯電防止層の剥がれ落ちのない、帯電防止性に優れる粘着シートを提供する。【解決手段】有機バインダーおよび四級アンモニウム塩の基を持つモノマを含有し、有機バインダーは(メタ)アクリル酸エステル重合体である帯電防止層を有することを特徴とする粘着シート。更に、耐電防止層はエポキシ硬化剤を含有する。粘着シートは、片面に粘着剤層を有し、もう一方の面に耐電防止層を有する。当該粘着シートの使用により電子部品製造工程で生じる摩擦帯電の影響を抑えることができる。電子部品、特に半導体ウエハ、チップ状の部品といった電子部品用集合体をバックグラインドやダイシングし、電子部品とする際に用いられる粘着シートに適する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
有機バインダーおよび四級アンモニウム塩の基を持つモノマを含有する帯電防止層を有する粘着シート。
IPC (5件):
C09J 7/02
, C09D 4/00
, C09D 133/04
, C09D 163/00
, B32B 27/00
FI (5件):
C09J7/02 Z
, C09D4/00
, C09D133/04
, C09D163/00
, B32B27/00 M
Fターム (32件):
4F100AH03A
, 4F100AK01A
, 4F100AK25A
, 4F100AK53H
, 4F100AT00B
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100CA02A
, 4F100CB05C
, 4F100GB41
, 4F100JG03A
, 4F100JK09
, 4F100JL13C
, 4F100YY00A
, 4J004AB01
, 4J004CC02
, 4J004CC03
, 4J004CC05
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J038CG141
, 4J038DB002
, 4J038FA162
, 4J038JA69
, 4J038KA03
, 4J038NA20
, 4J038PA17
, 4J038PB09
, 4J038PC08
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (2件)
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半導体製造用粘着テープ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-257062
出願人:藤森工業株式会社
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電子部材固定用シート
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-397047
出願人:電気化学工業株式会社
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